四氯化硅催化氢化制备三氯氢硅

doi:10.3969/j.issn.1008-1143.2012.08.005

工业催化 ›› 2012, Vol. 20 ›› Issue (8) : 26-30. DOI: 10.3969/j.issn.1008-1143.2012.08.005

催化剂制备与研究

四氯化硅催化氢化制备三氯氢硅

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Catalytic hydrogenation of silicon tetrachloride to trichlorosilane

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Received	Published
2012-03-31	2012-08-15
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2012-11-12

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