催化热氢化法制备三氯氢硅研究进展

doi:10.3969/j.issn.1008-1143.2015.01.002

工业催化 ›› 2015, Vol. 23 ›› Issue (1) : 8-14. DOI: 10.3969/j.issn.1008-1143.2015.01.002

综述与展望

催化热氢化法制备三氯氢硅研究进展

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Recent advance in catalytic thermal hydrogenation technologies for trichlorosilane production

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Received	Revised	Published
2014-09-01	2014-12-09	2015-01-15
Issue Date
2015-06-01

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