四氯化硅催化氢化制备三氯氢硅

四氯化硅催化氢化制备三氯氢硅

龙雨谦;刘颖颖;叶龙泼;付勰;蒋炜;周齐岭;梁斌

Catalytic hydrogenation of silicon tetrachloride to trichlorosilane

工业催化 . 2012, (8): 26 -30 . DOI: 10.3969/j.issn.1008-1143.2012.08.005